Voegtlin質(zhì)量流量控制器流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大，放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較，再將差值信號放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。分流器決定主通道的流量。

　　Voegtlin質(zhì)量流量控制器使用時需注意：當(dāng)質(zhì)量流量控制器的“閥控”線置于“清洗”位時，可以當(dāng)質(zhì)量流量計使用。在做流量計使用時，流量檢測電壓的輸出值zui大可能達(dá)+10V以上，不過要注意，當(dāng)流量超滿量程值+5V后，流量檢測電壓與通過的實際流量不成線性對應(yīng)關(guān)系。清洗時，流量顯示不準(zhǔn)，還可能出現(xiàn)流量增大顯示反而減小的異常現(xiàn)象，但并不會對流量計本身造成損傷。